Микроелектромеханички уређај и начин израде истих

1. Овај проналазак се односи на микроелектромеханички уређај и поступак његове производње.

Техника у позадини:

2. Микроелектромеханички уређај (мемс) је технологија развијена свеобухватно на основу технологије микроелектронике, технологије производње полупроводника и других дисциплина, која интегрише више техничких области као што су литографија, корозија, таложење танког филма, микромашинска и прецизна обрада, реализујући минијатуризација прецизних уређаја како би се задовољиле потребе различитих примена. Уобичајени мемс уређаји укључују акцелерометре и жироскопе.

3. Тренутни мемс акцелерометри или жироскопи углавном користе две или више конструкција конзолног снопа да подрже блок масе. Блок масе се може померити услед убрзања, или се може покренути да осцилује, док мери промену капацитивности изазвану блоком масе. Убрзање и угаона брзина се могу мерити. Међутим, процес производње конзолне греде је компликован и подложан је проблему неравнотеже напона међу конзолним гредама.

Контактирајте нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плус 86-755-23699351

Моб: плус 8618666663894