Метода за производњу микромеханичке компоненте за сензорски уређај или микрофонски уређај

Елементи техничке имплементације:

3. Овај проналазак предлаже микромеханичку компоненту за сензорски уређај или микрофонски уређај са карактеристикама захтева 1, и метод за производњу микромеханичке компоненте за сензорски уређај или микрофонски уређај са карактеристикама захтева 5.

4. Предности проналаска

5. Конструкција према проналаску заснована на најмање једном оштећеном слоју од најмање једног електрично изолационог материјала за жртвовани слој микромеханичке компоненте предложене проналаском и истог Конфигурација према проналаску најмање једног изолационог региона направљеног од најмање један електрично изолациони материјал од материјала изолационог жртвеног слоја, да би се конфигурисала шупљина микромеханичке компоненте, процес погодан за делимично уклањање најмање једног жртвеног слоја може се извести без потребе за бригом о оштећењу или уклањању најмање једно подручје изолације. Проналазак тако олакшава опремање одговарајуће микромеханичке компоненте према проналаску са најмање једним изолационим регионом који је погодан за електричну изолацију структуре електроде од мембране, између слоја материјала мембране и слоја материјала електроде. електрична изолација и/или одвајање најмање једног преосталог региона најмање једног жртвованог слоја од шупљине. Проналазак тако побољшава микромеханичку компоненту према проналаску у поређењу са претходним стањем технике и додатно доприноси смањењу трошкова рада и микромеханичке компоненте према проналаску за производњу микромеханичке компоненте према проналаску.

6. Најмање један изолациони регион за одвајање најмање једног преосталог региона најмање једног жртвованог слоја може посебно да делује као "заштита од нагризања" против нежељеног нагризања најмање једног заосталог региона током изградње шупљине. У исто време, постиже се најмање један изолациони регион конструисан од најмање једног електрично изолационог материјала за одвајање најмање једног заосталог региона.

Контактирајте нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плус 86-755-23699351

Моб: плус 8618666663894