Пројектовање и начин израде ПМУТ-а са изолационим ровом

Пројектовање и начин израде пмута са изолационим ровом

техничка област

1. Овај проналазак се односи на техничку област пмут-а, посебно на дизајн и метод припреме пмут-а са изолационим ровом.

Техника у позадини:

2. МЕМС технологија је технологија мехатроничког система микроразмера развијена последњих деценија. На основу мемс технологије, истраживачи су дизајнирали и произвели микромашински ултразвучни претварач. У поређењу са традиционалним ултразвучним претварачима, има предности минијатуризације, интеграције, високих перформанси и ниске цене, и постао је један од важних праваца истраживања ултразвучних претварача. Према принципу рада, мут се може поделити на капацитивне микромашинске ултразвучне претвараче и пиезоелектричне микромашинске ултразвучне претвараче. цмут обично захтева висок ДЦ напон да би задовољио високу осетљивост на пренос и пријем, што узрокује одређене потешкоће у дизајну кола и интеграцији и производњи уређаја. цмут обично захтева висок ДЦ напон да би задовољио високу осетљивост на пренос и пријем, што узрокује одређене потешкоће у дизајну кола и интеграцији и производњи уређаја. У поређењу са цмут, пмут не захтева висок напон да би добио високу осетљивост, и има мали утицај паразитске капацитивности, мале потрошње енергије и лако се интегрише са ЦМОС колима. Основни принцип пмут-а је углавном пиезоелектрични ефекат. Када се пиезоелектрични кристал деформише применом спољне силе у одређеном правцу, на две супротне површине кристала ће се генерисати позитивно и негативно супротно наелектрисање, што се назива позитивни пиезоелектрични ефекат; а када се примени електрично поље у правцу поларизације кристала, то ће проузроковати да се кристал деформише, а кристал се враћа у првобитни облик након уклањања електричног поља. Овај феномен се назива инверзни пиезоелектрични ефекат. Када се пмут користи као предајник, напон између горње и доње електроде узрокује да пиезоелектрични слој има инверзни пиезоелектрични ефекат, који генерише високофреквентне вибрације, а затим зрачи ултразвучне таласе; када се користи као пријемник, звучни притисак делује на пиезоелектрични слој, што резултира деформацијом. Због позитивног пиезоелектричног ефекта Проузрокује генерисање електричног сигнала између горње и доње електроде. Основна структура пмут-а је типична структура суспендованог филма, пиезоелектрични слој је између горњег и доњег слоја електроде, а најдоњи супстрат је генерално изолациони супстрат силицијум (силицијум-на-изолатор, сои). Изолациони слој је обично силицијум диоксид (сио2). Главна функција у радном процесу је структура суспендованог филма састављена од горње електроде, пиезоелектричног слоја, доњег електродног слоја и изолационог слоја.

Контактирајте нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плус 86-755-23699351

Моб: плус 8618666663894